Modele de bosquet

索尼克 2019-02-17 16:05 未分类 0 条评论
Modele de bosquet

Un modèle bien établi pour la croissance de l`oxyde thermique a été proposé par Deal et Grove [51] au milieu des années 60 et en raison de sa simplicité, il est toujours appliqué fréquemment. Une des raisons de cette simplicité est que toute la physique du processus d`oxydation est contenue dans deux soi-disant paramètres de Deal-Grove, qui doivent être extraits des expériences. En outre, on suppose que la structure est unidimensionnelle. Par conséquent, le modèle ne peut être appliqué qu`à des films d`oxyde cultivés sur des substrats planes. Une analyse de la constante de vitesse parabolique B du tableau 2,2 montre que l`énergie d`activation pour les ambiants O et HO est tout à fait différente. Cela suggère que le mécanisme physique caractérisé par pourrait être la diffusion oxydant par SiO, puisque la diffusivité de O et HO dans l`oxyde sont différentes, est une valeur constante, et ne devrait pas augmenter exponentiellement avec la température. Cela suggère que le paramètre du modèle parabolique linéaire représente le processus de diffusion oxydant. Afin de modéliser le taux de croissance correspondant pour différentes températures, les valeurs pour et doivent changer avec la température. Comme expliqué dans la section 2.4.2, le taux d`oxydation augmente avec une température plus élevée, et donc les valeurs de et doivent également augmenter. Il a été constaté expérimentalement que les deux et sont bien décrits par les expressions d`Arrhenius de la forme le modèle suppose que la réaction d`oxydation se produit à l`interface entre la couche d`oxyde et le matériau du substrat, plutôt qu`entre l`oxyde et le gaz ambiant.

[1] ainsi, il considère trois phénomènes que l`espèce oxydante subit, dans cet ordre: dans les années 1980, il est devenu évident qu`une mise à jour du modèle Deal-Grove serait nécessaire pour modéliser les oxydes minces susmentionnés (cas d`auto-limitation). Une telle approche modélise plus précisément les oxydes minces est le modèle de Massoud à partir de 1985 [2]. Le modèle Massoud est analytique et basé sur des mécanismes d`oxydation parallèles. Il modifie les paramètres du modèle Deal-Grove pour mieux modéliser la croissance initiale de l`oxyde avec l`addition de termes d`amélioration des taux. Le modèle parabolique linéaire prédit que le taux de croissance de l`oxyde doit être directement proportionnel à la pression oxydant comme indiqué dans (2,9). Si la Loi de Henry [53] détient et la concentration des oxydants sur l`interface Gas/SiO est proportionnelle à la pression, puis les deux et sont proportionnelles à partir de (2,23) et (2,25), et le taux de croissance de l`oxyde doit donc être proportionnelle à. L`idée principale qui sous-tend le modèle Deal-Grove est illustrée dans la figure 2,12 [42]. La figure représente les matériaux et les interfaces impliqués lors de l`oxydation dans une forme unidimensionnelle. Le transport et l`interaction des oxydants est considéré comme passant par les étapes suivantes: Deal-Grove échoue également pour le silicium polycristallin (“poly-silicium”).

Premièrement, l`orientation aléatoire des grains de cristal rend difficile de choisir une valeur pour la constante de vitesse linéaire. Deuxièmement, les molécules oxydantes diffusent rapidement le long des limites des grains, de sorte que le poly-silicium s`oxyde plus rapidement que le silicium monocristallin. Les constantes de vitesse et qui sont l`idée principale derrière le modèle de croissance d`oxyde linéaire-parabolique sont parfois appelées les paramètres de Deal-Grove.

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